정제된 과산화수소 증기를 진공 배기된 멸균용기에 투입하여 확산시키고, 멸균 대상물이 과산화수소 증기에 포화된 후,
분해와 살균 작용이 촉진되어 멸균 효과를 얻는 의료용 플라즈마 멸균기이다.